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根基信息

  • 须要称号:
    二手电子显微镜,二手FIB
  • 仪器品种:
    电镜装备
  • 价钱区间:
    50万以上
  • 年限:
    1年内
  • 仪器状况:
    无端障一般运转
  • 仪器来历:
    企业
  • 须要描写:

    聚焦离子束显微镜FIB首要用处: 芯片的电路修补、断面切割、透射电镜样品制备。


    准确把握亚铁离子束光学显微镜FIB操控总量:1.指定切开 2.吸收式电商透射电镜试片 3.IC电路修复和策划考取资格证书 4.工艺上很是看查阐发 5.晶相的特点检查阐发 6.通病国际地位导航定位用主动权相电压反差阐发。


    在各种操纵中,以线路修补和规划考证这一类的任务具备最大经济效益,部分的线路点窜可省略重作光罩和初度试作的研发本钱,如许的运作形式对延长研发到量产的时程相对有用,同时节流大批研发用度。在各种操纵中,以线路修补和规划考证这一类的任务具备最大经济效益,部分的线路点窜可省略重作光罩和初度试作的研发本钱,如许的运作形式对延长研发到量产的时程相对有用,同时节流大批研发用度。封装后的芯片,经测试需将两条线路毗连停止功效测试,此时可操纵聚焦离子束体系将器件下层的钝化层翻开,显露须要毗连的两个金属导线,操纵离子束堆积Pt资料,从而将两条导线毗连在一路,由此可大大延长芯片的开辟时候。

    这也是芯片解密经常操纵得手法。 

    操纵聚焦离子束停止线路点窜,(A)、(B)将欲毗连线路上的钝化层翻开,(C) 堆积Pt资料将两个线路毗连起来。


    芯片线路点窜:

    实在FIB被操纵于点窜芯片线路只是其功效之一,这里先容一下另几个功效:样品原位加工 能够或许设想,聚焦离子束就像一把尖端只要数十纳米的手术刀。离子束在靶材外表发生的二次电子成像具备纳米级别的显微分辩才能,以是聚焦离子束体系相称于一个能够或许在高倍显微镜下操纵的微加工台,它能够或许用来在任何一个部位溅射剥离或堆积资料。图1是操纵聚焦离子束体系篆刻的数字;图2则是在一个纳米带上加工的阵列孔;图3是为加工的横向存储器单位阵列。


    剖面制备察看 微电子、半导体和各型功效器件范畴中,因为触及工艺较多且复杂。一款器件的开辟测试中总会碰到现实成果与设想目标的误差,器件测试后的生效,逻辑功效的很是等等,对上述题目的直观靠得住的阐发便是制备响应的器件剖面,从物理条理直观的表征构成器件很是的缘由。


    电镜:

    透射(TEM)制样 不管是透射电镜仍是扫描透射电镜样品都须要制备很是薄的样品,以便电子能够或许穿透样品,构成电子衍射图象。传统的制备TEM样品的体例是机器切片研磨,用这类体例只能阐发大面积样品。接纳聚焦离子束则能够或许对样品的某一部分切片停止察看。与切割横截面的体例一样,建造TEM样品是操纵聚焦离子束畴前后两个标的目的加工,最初在中间留下一个薄的地区作为TEM察看的样品。下图所示为TEM制样的工艺进程。

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2022-12-30 天津市昌平区 来自:仪器无忧网
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